Bơm chân không trong ngành điện tử và bán dẫn

Bơm chân không có vai trò quan trọng trong ngành điện tử và bán dẫn, vì nhiều quy trình sản xuất linh kiện yêu cầu môi trường chân không cao để đảm bảo độ sạch, độ chính xác và hiệu suất thiết bị.

 

1. Vai trò của bơm chân không trong ngành điện tử & bán dẫn

a. Tạo môi trường sạch và kiểm soát khí

• Loại bỏ không khí, hơi nước, oxy và tạp chất.
• Ngăn ngừa oxy hóa hoặc nhiễm bẩn trong quá trình xử lý vật liệu.
• Tạo môi trường khí trơ (ví dụ: Argon, Nitơ) ổn định cho các phản ứng nhạy.

b. Hỗ trợ các quy trình công nghệ chính

1. Lắng đọng màng mỏng (Thin Film Deposition)
   • PVD (Physical Vapor Deposition), CVD (Chemical Vapor Deposition), ALD (Atomic Layer Deposition) yêu cầu chân không để kiểm soát độ tinh khiết và độ dày màng.
     → Dùng các loại bơm như: bơm cơ học, bơm turbo, bơm phân tử, bơm khuếch tán dầu.
2. Khắc plasma (Plasma Etching / Dry Etching)
   • Cần môi trường chân không để plasma được hình thành và duy trì ổn định.
3. Kiểm tra rò rỉ & đóng gói chip (Hermetic sealing / Leak test)
   • Bơm chân không tạo áp suất chênh lệch để phát hiện rò rỉ trong các package bán dẫn.
4. Sản xuất màn hình OLED, LCD, LED
   • Lắng đọng các lớp hữu cơ hoặc vô cơ trong điều kiện chân không để đảm bảo độ mỏng và độ bám dính cao.
5. Xử lý nhiệt (Vacuum Furnace / Sintering)
   • Dùng bơm chân không trong lò nung để tránh oxy hóa và tạp nhiễm kim loại.

2. Các loại bơm chân không thường dùng

Loại bơm	Nguyên lý	Mức chân không đạt được	Ứng dụng
Bơm cánh quay dầu (Rotary Vane Pump)	Cơ học, dùng dầu bôi trơn	10⁻³ mbar	Hệ chân không sơ cấp, khởi động
Bơm khô (Dry Pump)	Không dùng dầu, vít/scroll	10⁻² mbar	Hệ thống cần độ sạch cao
Bơm turbo phân tử (Turbo Molecular Pump)	Va chạm động năng phân tử	10⁻⁹ mbar	Lắng đọng màng, khắc plasma
Bơm khuếch tán dầu (Diffusion Pump)	Dùng hơi dầu tốc độ cao	10⁻⁷ mbar	Hệ thống PVD, CVD
Bơm cryo (Cryogenic Pump)	Ngưng tụ khí ở nhiệt độ cực thấp	10⁻⁸ mbar	Ứng dụng bán dẫn cao cấp
Bơm getter / ion	Hấp phụ hoặc ion hóa khí	10⁻¹⁰ mbar	Hệ chân không siêu cao (UHV)

3. Yêu cầu đặc thù trong ngành bán dẫn

• Độ sạch cực cao (Cleanroom Class 1 – 1000)
  → Bơm không được phát sinh bụi, dầu hoặc hơi bẩn.
• Tính ổn định và độ tin cậy cao
  → Dây chuyền sản xuất bán dẫn chạy liên tục 24/7, nên bơm cần tuổi thọ cao và ít bảo trì.
• Khả năng xử lý khí ăn mòn
  → Một số quy trình plasma dùng CF₄, SF₆, Cl₂ – cần bơm chống ăn mòn và vật liệu chịu hóa chất.
• Tích hợp tự động & giám sát trạng thái bơm (IoT, Industry 4.0)

4. Xu hướng hiện nay

• Chuyển sang bơm khô (dry vacuum pump) → giảm rủi ro nhiễm dầu, thân thiện môi trường.
• Tích hợp cảm biến & IoT → giám sát tình trạng vận hành, bảo trì dự đoán (predictive maintenance).
• Tiết kiệm năng lượng → sử dụng inverter và chế độ tiết kiệm điện khi tải thấp.
• Miniaturization & modular systems → phục vụ dây chuyền linh hoạt, quy mô nhỏ.

CÔNG TY CỔ PHẦN THIẾT BỊ CÔNG NGHIỆP & KHÍ NÉN HOÀNG NAM

(BƠM CHÂN KHÔNG - MÁY THỔI KHÍ - BÌNH CHỨA KHÍ –MÁY SẤY KHÍ HẤP THỤ)

Địa chỉ: Số 84/49 đường Ngô Chí Quốc, Phường Tam Bình, Thành phố Hồ Chí Minh

MST: 0314786391    Web: https://maychankhong.com/    Email: maychankhong@gmail.com

Hotline/Zalo: 0926 345 886 – 0906 76 96 98 cùng trao đổi & tìm kiếm cơ hội hợp tác.